Silanes

Aplikace | 2011 | Agilent TechnologiesInstrumentace

GC, GC kolony, Spotřební materiál

Zaměření

Ostatní

Výrobce

Agilent Technologies

Přejít do knihovny Zobrazit PDF

Souhrn

Význam tématu

Analýza silanů je klíčová v materiálovém výzkumu a kvalitativní kontrole při výrobě polovodičů a křemíkových povlaků. Rychlá a přesná detekce jednotlivých sloučenin zajišťuje optimalizaci výrobních procesů a bezpečnost manipulace.

Cíle a přehled studie

Cílem bylo vyvinout chromatografickou metodu pro simultánní stanovení sedmi vybraných silanů během méně než čtyř minut za použití sloupce Agilent FactorFour VF-200ms.

Použitá metodika a instrumentace

Technika: plynová chromatografie (GC)
Kolona: Agilent FactorFour VF-200ms, 0,25 mm × 30 m, tloušťka filmu 0,25 μm
Teplotní program: 45 °C, nárůst 10 °C/min až na 325 °C
Pohonný plyn: helium, průtok cca 1,0 mL/min
Tlaková regulace: 60 kPa
Vstřikovač: Split/Splitless, režim split 1:100, velikost vzorku 1 μL
Detektor: FID (plamenoionizační detektor)

Hlavní výsledky a diskuse

Metoda umožnila separaci a detekci všech sedmi silanů (

vinyl-trimethylsilane
dichlormethylsilane
dichlormethane
trimethylchlorosilane
pentamethyldisiloxane
trichlormethylsilane
dichlordimethylsilane

) za méně než čtyři minuty. Krátké doby analýzy a ostrá separace píků potvrzují vysokou účinnost kolony VF-200ms. Diskuse zdůrazňuje optimalizaci teplotního programu a vhodné nastavení průtoku heliem pro maximální rozlišení.

Přínosy a praktické využití metody

Výrazné zkrácení doby analýzy přispívá k vyšší laboratorní produktivitě.
Vysoká selektivita a citlivost GC-FID pro rutinní kontrolu kvality silanů.
Metoda vhodná pro průmyslovou kontrolu a výzkumné aplikace v oboru polovodičových materiálů.

Budoucí trendy a možnosti využití

Očekává se integrace automatizace vzorkování a kombinace s hmotnostní detekcí pro rozšíření analýzy o stopy nečistot. Dále se plánuje aplikace pro online monitorování výrobních procesů a vývoj rychlých screeningových metod.

Závěr

Navržená GC metoda na sloupci Agilent VF-200ms pro stanovení sedmi silanů prokázala vysokou rychlost, přesnost a reprodukovatelnost. Díky krátkému času analýzy je vhodná pro rutinní i výzkumné účely.

Reference

Agilent Technologies, Inc. Application Note A02207, 2011

Obsah byl automaticky vytvořen z originálního PDF dokumentu pomocí AI a může obsahovat nepřesnosti.

PDF verze ke stažení a čtení

Podobná PDF

Phenols - Analysis of acidic aromatic compounds

2011|Agilent Technologies|Aplikace

Phenols Analysis of acidic aromatic compounds Application Note Environmental Authors Introduction Agilent Technologies, Inc. An Agilent FactorFour VF-200ms GC column separates three phenols in 13 minutes by gas chromatography. Conditions Technique : GC Column : Agilent FactorFour VF-200ms, 0.25 mm…

Klíčová slova

phenols, phenolsbenzoic, benzoiccourtesy, courtesyacidic, acidicaromatic, aromaticprinted, printedinjector, injectorusa, usaauthors, authorsprogram, programenvironmental, environmentalsize, sizetechnique, techniquecarrier, carrieridentification

Aromatic volatile organic compounds

2011|Agilent Technologies|Aplikace

Aromatic volatile organic compounds Application Note Environmental Authors Introduction Agilent Technologies, Inc. GC analysis of nine aromatic volatiles uses an Agilent FactorFour VF-200ms column to achieve a separation in less than 12 minutes. Conditions Technique : GC Column : Agilent…

Klíčová slova

erthylbenzene, erthylbenzenexylene, xylenemeta, metaortho, orthopara, parachlorobenzene, chlorobenzenecourtesy, courtesyaromatic, aromaticbenzene, benzenetoluene, tolueneprinted, printedvolatile, volatileinjector, injectorusa, usaprogram

Analysis of basic aromatic compounds

2010|Agilent Technologies|Aplikace

Base neutrals Analysis of basic aromatic compounds Application Note Environmental Authors Introduction Agilent Technologies, Inc. GC analysis of base neutrals using an Agilent FactorFour VF-200ms column is accomplished in 27 minutes. Conditions Technique : GC Column : Agilent FactorFour VF-200ms,…

Klíčová slova

neutrals, neutralscourtesy, courtesyaromatic, aromaticbasic, basicbase, baseprinted, printedinjector, injectorusa, usaauthors, authorsprogram, programenvironmental, environmentalsize, sizetechnique, techniquecarrier, carrieridentification

Chlorinated hydrocarbons

2011|Agilent Technologies|Aplikace

Chlorinated hydrocarbons Application Note Environmental Authors Introduction Agilent Technologies, Inc. GC analysis of eight chlorinated hydrocarbons uses an Agilent FactorFour VF-200ms column to achieve a separation in 22 minutes. Conditions Technique : GC Column : Agilent FactorFour VF-200ms, 0.25 mm…

Klíčová slova

hexachloroethane, hexachloroethanehexachlorobutadiene, hexachlorobutadienehexachlorobenzene, hexachlorobenzenecourtesy, courtesychlorinated, chlorinatedhydrocarbons, hydrocarbonsprinted, printedinjector, injectorusa, usaauthors, authorsprogram, programenvironmental, environmentalsize, sizetechnique, techniquecarrier