SEMICONDUCTOR INDUSTRY SOLUTIONS - SYFT TECHNOLOGIES
Brožury a specifikace | 2017 | Syft TechnologiesInstrumentace
V polovodičovém průmyslu má precizní sledování organických a anorganických plynů klíčový význam pro zajištění kvality výrobků, prevenci finančních ztrát a ochranu zdraví zaměstnanců i životního prostředí.
Cílem materiálu je představit využití techniky SIFT-MS (Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometry) ve výrobních procesech polovodičů. Obsah zahrnuje monitorování čistých prostor, kvalitu surovin, ochranu pracovníků a kontrolu emisí ze spalinových cest.
SIFT-MS kombinuje měkkou chemickou ionizaci s hmotnostní spektrometrií a umožňuje kvantifikovat LZO, SVOC a anorganické plyny v reálném čase na úrovni pptv.
Analýza potvrdila schopnost kontinuálního 24/7 monitoringu čistých prostor a ambientního vzduchu, rychlou detekci kontaminačních „hotspotů“ a okamžité varování před úniky škodlivin. Screening surovin a výrobků dosahuje vysokého průtoku vzorků díky integraci autosampleru. Monitorování expozice nebezpečným plynným látkám (např. HCl, HF) zajišťuje okamžitou zpětnou vazbu pro ochranu zaměstnanců. Fenceline a odpadní monitoring poskytují včasné varování pro prevenci ekologických rizik.
Očekává se integrace SIFT-MS do systému průmyslového internetu věcí (IIoT) a využití umělé inteligence pro prediktivní údržbu a pokročilé analýzy dat. Rozšíření knihovny reagentních iontů a optimalizace softwarových algoritmů přispějí k lepšímu rozlišení složitých směsí škodlivin.
Technologie SIFT-MS nabízí rychlou, selektivní a vysoce citlivou analýzu stopových organických i anorganických plynů v reálném čase. Implementace této metody v polovodičové výrobě významně zvyšuje kvalitu procesů, chrání zaměstnance a minimalizuje environmentální dopady.
SIFT-MS
ZaměřeníPolovodiče
VýrobceSyft Technologies
Souhrn
Význam tématu
V polovodičovém průmyslu má precizní sledování organických a anorganických plynů klíčový význam pro zajištění kvality výrobků, prevenci finančních ztrát a ochranu zdraví zaměstnanců i životního prostředí.
Cíle a přehled studie / článku
Cílem materiálu je představit využití techniky SIFT-MS (Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometry) ve výrobních procesech polovodičů. Obsah zahrnuje monitorování čistých prostor, kvalitu surovin, ochranu pracovníků a kontrolu emisí ze spalinových cest.
Použitá metodika a instrumentace
SIFT-MS kombinuje měkkou chemickou ionizaci s hmotnostní spektrometrií a umožňuje kvantifikovat LZO, SVOC a anorganické plyny v reálném čase na úrovni pptv.
- Reagentní ionty: H3O⁺, NO⁺, O2⁺, O⁻, O2⁻, OH⁻, NO2⁻, NO3⁻
- Princip: toková trubice s nosným plynem, kvadrupólové filtry, citlivé detektory
- Vlastnosti: přímá analýza bez separace, vysoká selektivita, rychlé přepínání iontů
Hlavní výsledky a diskuse
Analýza potvrdila schopnost kontinuálního 24/7 monitoringu čistých prostor a ambientního vzduchu, rychlou detekci kontaminačních „hotspotů“ a okamžité varování před úniky škodlivin. Screening surovin a výrobků dosahuje vysokého průtoku vzorků díky integraci autosampleru. Monitorování expozice nebezpečným plynným látkám (např. HCl, HF) zajišťuje okamžitou zpětnou vazbu pro ochranu zaměstnanců. Fenceline a odpadní monitoring poskytují včasné varování pro prevenci ekologických rizik.
Přínosy a praktické využití metody
- Snížení výrobních ztrát a nákladů díky okamžité kontrole kvality
- Zajištění souladu se zdravotními a ekologickými normami
- Ochrana zdraví pracovníků prostřednictvím nepřetržitého monitoringu
- Flexibilita nasazení napříč výrobním řetězcem
Budoucí trendy a možnosti využití
Očekává se integrace SIFT-MS do systému průmyslového internetu věcí (IIoT) a využití umělé inteligence pro prediktivní údržbu a pokročilé analýzy dat. Rozšíření knihovny reagentních iontů a optimalizace softwarových algoritmů přispějí k lepšímu rozlišení složitých směsí škodlivin.
Závěr
Technologie SIFT-MS nabízí rychlou, selektivní a vysoce citlivou analýzu stopových organických i anorganických plynů v reálném čase. Implementace této metody v polovodičové výrobě významně zvyšuje kvalitu procesů, chrání zaměstnance a minimalizuje environmentální dopady.
Použitá instrumentace
- Syft Technologies SIFT-MS přístroje
- Zdroj iontů: mikrovlnný plazmový generátor
- Analytické moduly: kvadrupólové hmotnostní filtry
- Software: LabSyft pro řízení měření a vyhodnocení dat
Obsah byl automaticky vytvořen z originálního PDF dokumentu pomocí AI a může obsahovat nepřesnosti.
Podobná PDF
PRODUCT QUALITY ASSURANCE SOLUTIONS - SYFT TECHNOLOGIES
2017|Syft Technologies|Brožury a specifikace
PRODUCT QUALITY ASSURANCE SOLUTIONS SYFT TECHNOLOGIES SIFT-MS SOLUTIONS THAT ASSURE PRODUCT QUALITY The unintentional presence of volatile and/or semivolatile organic compounds (VOCs and SVOCs) can significantly impact the quality of certain products, including semiconductors, food products, and pharmaceuticals. These quality…
Klíčová slova
sift, siftsyft, syftassurance, assurancequality, qualitycontainers, containersvocs, vocsrapid, rapidtechnologies, technologiesreagent, reagentproduct, productinstruments, instrumentsincoming, incomingtainted, taintedunfavorable, unfavorablelosses
PHARMACEUTICAL APPLICATIONS - SYFT TECHNOLOGIES
2017|Syft Technologies|Brožury a specifikace
PHARMACEUTICAL APPLICATIONS SYFT TECHNOLOGIES PHARMACEUTICAL INDUSTRY APPLICATIONS OF SIFT-MS Volatile organic compounds (VOCs) are widely utilized in various pharmaceutical manufacturing processes and in other parts of the supply chain (e.g. polymer manufacture and packaging). Many VOCs have adverse health effects…
Klíčová slova
sift, siftsyft, syftresidual, residualvocs, vocsrapid, rapidpharmaceutical, pharmaceuticalreagent, reagenttesting, testinganalysis, analysiseight, eightgreatly, greatlytechnologies, technologiesvoc, vocproduct, productvery
SOLUTIONS THAT PROTECT PEOPLE - SYFT TECHNOLOGIES
2017|Syft Technologies|Brožury a specifikace
SOLUTIONS THAT PROTECT PEOPLE SYFT TECHNOLOGIES SIFT-MS SOLUTIONS THAT PROTECT PEOPLE Many volatile organic compounds (VOCs) and semi-VOCs (SVOCs) pose risks to human health and the general well-being of modern society. Some have severe, acute toxicity, such as the chemical…
Klíčová slova
sift, siftsyft, syftvocs, vocsfumigants, fumigantsreagent, reagenttoxic, toxicindoor, indoorair, airwarfare, warfaredetection, detectionrapidly, rapidlytechnologies, technologiesanalysis, analysisemissions, emissionsorganosulfur
ENVIRONMENTAL SOLUTIONS - SYFT TECHNOLOGIES
2017|Syft Technologies|Brožury a specifikace
ENVIRONMENTAL SOLUTIONS SYFT TECHNOLOGIES ENVIRONMENTAL SOLUTIONS UTILIZING SIFT-MS Volatile organic compounds (VOCs) and inorganic gases are important – but usually invisible – air pollutants. Some are highly toxic (including the carcinogens benzene and formaldehyde), some have nuisance value (e.g. producing…
Klíčová slova
sift, siftsyft, syftemissions, emissionsvocs, vocsodor, odorgases, gasesinorganic, inorganicreal, realreagent, reagentindustrial, industrialambient, ambienttechnologies, technologiesprocesses, processestrillion, trillionair
