Shimadzu SolidSpec-3700i/3700iDUV UV-VIS-NIR Spektrofotometr

Shimadzu SolidSpec-3700i/3700i DUV má tři detektory, které pokrývají rozsah od ultrafialové až po blízkou infračervenou oblast.

Vysoká citlivost

Vztah mezi detektory a měřitelným rozsahem

Detektor fotonásobiče lze přepnout na detektor InGaAs v rozsahu 700 nm až 1000 nm (výchozí přepínací vlnová délka je 870 nm). Detektor InGaAs lze přepnout na detektor PbS v rozsahu od 1600 nm do 1800 nm (výchozí přepínací vlnová délka je 1650 nm).

Shimadzu: Vztah mezi detektory a měřitelným rozsahem

Pro měření optických částí je vyžadována vysoká přesnost propustnosti a odrazivosti. Přístroje SolidSpec-3700i/3700i DUV mají tři detektory, které pokrývají rozsah od ultrafialové až po blízkou infračervenou oblast. Citlivost v blízké infračervené oblasti je výrazně zvýšena použitím detektorů InGaAs i chlazených detektorů PbS. Vysoce přesná a vysoce citlivá spektra lze získat od ultrafialové až po blízkou infračervenou oblast.

Shimadzu: Tři detektory spektrofotometru Shimadzu SolidSpec-3700i-3700iDUV připojené na integrační kouli

Běžné spektrofotometry používaly pro ultrafialovou a viditelnou oblast detektor s fotonásobičem a pro blízkou infračervenou oblast detektor PbS. Ani jeden z těchto detektorů však nemá velkou citlivost v blízkosti přepínání detektorů, což znemožňuje měření s vysokou citlivostí v této oblasti. Přístroje SolidSpec-3700i/3700i DUV umožňují provádět měření s vysokou citlivostí v oblasti přepínání pomocí detektoru InGaAs, jak je znázorněno na obrázku níže.

Shimadzu: Charakteristika citlivosti detektorů

Široký rozsah vlnových délek měření (SolidSpec-3700i DUV)

Rozvoj přesného laserového obrábění pomocí ultrafialového laseru, jako je například excimerový ArF laser, zvyšuje požadavek na měření transmitance nebo odrazivosti optických součástí v hluboké ultrafialové oblasti. Přístroj SolidSpec-3700i DUV (pozn. 1) umožňuje měření v rozsahu 175 nm až 2600 nm (pozn. 2) s integrační koulí a v rozsahu 165 nm až 3300 nm (pozn. 3) po připojení volitelné jednotky přímé detekce DUV. S touto přídavnou jednotkou je nyní možné měřit v širokém rozsahu od hlubokého ultrafialového záření až po blízkou infračervenou oblast.

Pročišťování plynným dusíkem

Molekuly kyslíku v atmosféře absorbují ultrafialové světlo pod vlnovou délkou 190 nm. K odstranění rušivých molekul kyslíku je nutné proplachování optického i vzorkovacího prostoru plynným dusíkem. Vzhledem k tomu, že přístroj SolidSpec-3700i DUV má proplachovací vstupy pro každé oddělení, proplachování dusíkem je velmi účinné, čímž se zkrátí doba potřebná k proplachování po výměně vzorku a dosáhne se tak vysoké citlivosti s nižším rozptylovým světlem v hluboké UV oblasti.

Shimadzu: Pročišťování plynným dusíkem

Integrační koule a fotonásobič pro hlubokou ultrafialovou oblast

Jako materiál pro okénko detektoru a materiál pro vnitřní stranu integrační koule je třeba použít materiály, které neabsorbují hluboké ultrafialové světlo, aby bylo měření v hluboké ultrafialové oblasti co nejefektivnější. SolidSpec-3700i DUV používá detektor PMT s taveným oxidem křemičitým jako okenním materiálem a integrační kouli s pryskyřicí jako vnitřním materiálem, která má vysoce odrazivé vlastnosti v hluboké ultrafialové oblasti.

Poznámka 1) Pro měření v oblasti pod 190 nm pomocí SolidSpec-3700i DUV je nutné proplachování dusíkem, aby se odstranilo rušení způsobené molekulami kyslíku uvnitř SolidSpec-3700i DUV.

Poznámka2) Měřitelný rozsah pro SolidSpec-3700i je 240 nm až 2600 nm.

Poznámka3) Měřitelný rozsah pro SolidSpec-3700i s volitelnou jednotkou přímé detekce je 190 nm až 3300 nm.

Shimadzu: Materiály integrační koule a fotonásobiče pro ultrafialovou oblast

Velký prostor pro vzorky pojme širokou škálu vzorků.

Přístroje SolidSpec-3700i a 3700i DUV mají velký prostor pro vzorky, který umožňuje měření velkých vzorků bez jejich destrukce. Jejich vnitřní rozměry jsou 900W × 700D × 350H mm. V prostoru pro vzorky lze nastavit maximální velikost vzorku 700W × 560D × 40H mm a po namontování automatického X-Y stolku (volitelně) lze měřit celou plochu vzorku o velikosti 12 palců nebo 310 × 310 mm. Vertikální optická dráha umožňuje provádět měření přenosu nebo odrazivosti velkých vzorků.

Shimadzu: Velký oddíl pro vzorky pojme širokou škálu vzorků

Trojrozměrná optická dráha

Trojrozměrná optická dráha umožňuje nedestruktivní měření velkých vzorků bez nutnosti jejich zmenšování. V optické dráze předchozích modelů se světlo pohybovalo pouze ve vodorovném směru, ale nové modely obsahují trojrozměrnou optickou dráhu (patent USA 6583872), přičemž světlo se pohybuje i ve svislém směru. Vzorky lze umístit horizontálně, což usnadňuje umístění velkých vzorků.

Shimadzu: Trojrozměrná optická dráha umožňuje nedestruktivní měření velkých vzorků

Široká škála příslušenství, jako jsou nástavce pro absolutní zrcadlovou odrazivost a nástavce pro relativní zrcadlovou odrazivost vytvořené pro SolidSpec-3700i/3700i DUV; rozšiřuje rozsah použití. Automatická měření lze provádět pomocí volitelného automatického X-Y stolku zadáním intervalů a úhlů natočení vzorku.

Automatické měření

Automatický X-Y stolek (volitelné příslušenství)

Automatický X-Y stolek vyvinutý pro SolidSpec-3700i/3700i DUV umožňuje automatické měření pro předem zadané body při zachování proplachu dusíkem.

Shimadzu: Automatický X-Y stolek a vložení intervalů a rotačních úhlů

Přímé měření kapalných a pevných vzorků bez integrační koule

Jednotka přímé detekce (volitelná výbava)

Přístroje Shimadzu SolidSpec-3700i/3700i DUV měří vzorky s integrační koulí jako standardním detekčním systémem. Některé vzorky však vyžadují měření bez použití integrační koule. Právě pro takové případy byla vytvořena jednotka přímé detekce. Po montáži jednotky přímé detekce (DDU-DUV) do přístroje SolidSpec-3700i DUV je možné měřit až do 165 nm (Pozn.) . Měření s jednotkou Direct Detection Unit lze provádět jednoduchým přepnutím zrcadla.

Pozn.) Pro měření pod 190 nm pomocí SolidSpec-3700i DUV je nutné proplachování dusíkem, aby se odstranily rušivé molekuly kyslíku uvnitř SolidSpec-3700i DUV. Měřitelný rozsah pro SolidSpec-3700i s volitelnou jednotkou přímé detekce je 190 nm až 3300 nm.

Shimadzu: Měření filmu a měření kapalného vzorku s použitím jednotky přímé detekce